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2014, Vol. 54(1): 78-83    DOI:
硅晶圆上窄节距互连铜凸点
刘子玉1,蔡坚1,2(),王谦1,程熙云1,石璐璐1
2. 清华大学信息科学与技术国家重点实验室(筹), 北京 100084
收稿日期 2013-06-03  修回日期 null
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