Ag离子注入对Si和SiO_2表面的辐照改性

Ag离子注入对Si和SiO_2表面的辐照改性

张政军;温丰;

清华大学学报（自然科学版） ›› 2013, Vol. 53 ›› Issue (5) : 699-703.

PDF(3254 KB)

横山亮次奖 | 百年刊庆 | 中文 | English

PDF(3254 KB)

清华大学学报（自然科学版） ›› 2013, Vol. 53 ›› Issue (5) : 699-703.

Ag离子注入对Si和SiO_2表面的辐照改性

张政军;温丰;

作者信息 +

文章历史 +

引用本文

导出引用

张政军;温丰;. Ag离子注入对Si和SiO_2表面的辐照改性[J]. 清华大学学报（自然科学版）. 2013, 53(5): 699-703

PDF(3254 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航

相关文章

/

〈

〉