模拟离子刻蚀过程3维表面演化方法

模拟离子刻蚀过程3维表面演化方法

杨宏军;宋亦旭;贾培发;

清华大学学报（自然科学版） ›› 2014, Vol. 54 ›› Issue (10) : 1350-1355.

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横山亮次奖 | 百年刊庆 | 中文 | English

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模拟离子刻蚀过程3维表面演化方法

杨宏军;宋亦旭;贾培发;

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杨宏军;宋亦旭;贾培发;. 模拟离子刻蚀过程3维表面演化方法[J]. 清华大学学报（自然科学版）. 2014, 54(10): 1350-1355

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