白冰, 王伟明, 李青峰, 李路明
当前,老炼仍被广泛应用于塑封微电路(PEM)的可靠性保证。为了解决老炼过程中存在的热失控及温度不一致的问题, 该文设计了一套温度闭环控制系统。在由老炼箱自身装置提供箱内基础温度的基础上, 设计的温度闭环控制系统以每个封装夹具内的微环境为控制对象, 采用模糊自适应算法, 最优配置比例积分(PI)控制器的控制参数, 最终驱动执行器, 对被老炼器件及时加热或散热。通过试验证实, 老炼过程中加入温度闭环控制系统后, 被测器件的温度在更短的时间内(20 min)达到稳态, 稳态精度控制在1℃以内, 且被测器件温度的差异由2℃降低到基本一致。而后, 当系统采用模糊自适应控制算法后, 系统的动态响应时间更短, 抗干扰能力更强。因此, 该系统达到了防止器件热失控及保证不同器件间温度一致的目的。