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光刻机工件台前馈补偿器参数整定方法
刘涛, 杨开明, 朱煜
Parameter tuning of the wafer stage compensation feedforward controller of the lithography machine
LIU Tao, YANG Kaiming, ZHU Yu
清华大学学报（自然科学版） . 2023, (10): 1640 -1649 .  DOI: 10.16511/j.cnki.qhdxxb.2023.26.002

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