送审稿

专家1

（1）规范论文结构，例如引言最后部分“本文的主要内容和结构安排如下：第1部分介绍所提方法并阐释建模原理；第2部分通过仿真讨论键合工艺参数的优化策略；第3部分是本文的结论。”这部分可以不要。
（2）应该补充给出模型中晶圆等结构参数。
（3）补充“图9 晶圆初始间隙对键合后残差的影响”实验的数据点数。

专家2

论文仅通过仿真开展了相关研究工作，但未开展相关物理实验进行验证，结果有效性有待进一步验证。论文引言、结论部分，叙述啰嗦，建议进行高度凝练。

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